平板显示器(FPD)是洁净室工业高速发展的部分,特别是在亚洲.虽然在亚洲有非常重要的市场,但是在北美和欧洲只有很小的市场。

　　最普通的平板显示类型是液晶显示器(LCD),从20世纪70年代初,就开始广泛地使用了.液晶显示器大约占整个平板显示器市场的80%,其中大部分是薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD).TFT-LCD主要用于笔记本和计算机、台式监视器和电视。

　　其它技术包括有机发光二极管（OLED）、等离子体显示板（PDP）、场致发射显示器（FEDs）和柔性面板。由于移动电话、MP3播放器和汽车立体音响使用的小型显示器需求量的增加，有机发光二极管（OLED）工业每年增长率也很高。

　　世界上一些最大的洁净室都用在平板显示器制造设施中，亚洲平板显示器厂的洁净室空间比美国最大的300毫米芯片厂的空间还要大5倍。虽然平板显示器制造设施与半导体生产车间有许多类似之处，但也有一些重要的差别。例如，在生产平板显示器过程中，几乎不关心分了污染问题。由于该技术的性质，污染对显示器的工作性能没有多大影响。

　　不管有源矩阵液晶显示器（LCD）的特征尺寸有几微米，其工艺过程实际上只对小很多的微粒敏感。小于1微米的颗粒会造成严重的问题，因为它们能引起镏金属层之间的短路。除了采用高效微粒空气过滤器过滤空气中的微粒外，平板显示器工业还有特殊的考虑。首先，基层可成为一个微粒源，特别是它在来回移动时。例如，基层边缘碰撞到某种物体时，会掉下一些碎片。因为基层很大并且是不导电的，因而会造成静电积累。静电不仅会损坏装置，还可以便于工作基层变成一块小磁铁。另一个问题是基层尺寸，目前一边只能做到400毫米。

　　标准显示器尺寸的不断变化也会对制造厂家的工具、自动传送设备和微环境带来问题。因为TFT工厂用的最主要的工具都放在微环境里。大型生产工具的运动会便气流的不规则性极端放大，相对于微电子行业同一工艺而言要大得多。即使来传送平板基层的传送箱也和办公桌差不多大。

　　由于在最新一一代平板设施中使用的最典型的材料储运系统扩展式网络，材料处理自动化程序达100%，所以空气流动就成为更关心的问题。自动化包括设备接口系统、地面支撑传送系统、储料器有轨车（RGVs）。将这些系统与洁净室设计集成起来是工程成功的关键。地面传送、自动导向车（AGV）或手控车（MGV）用于试验工厂的玻璃处理。

　　通常采用大空间式设计。大空间式配置灵活性大，能适应FPD制造中常用的各种工具的组合和尺寸要求，并能简化大型工具的安装。最新TFT-LCD和PDP设施用设备有的可达20到40米长，7到10米宽。将这些设备综合起来，生产线可到100米长。

　　在玻璃基质进入生产车间前进行清洗和抛光以及完工产品包装的过程中，产品暴露于空气中时要求局部区域清洁度为ISO4级，其它区域则最低可到ISO7级。一般的生产环境清洁度要求为ISO6级。

　　由于平板显示器（FPD）洁净室中墙面与地面面积比率低，所以，新风中的增压部分相对来说也低。附加的工艺排风可导致新风量达到百万CFM（立方英尺/分）。

　　中国台湾和韩国在显示器的关键器件方面正在竞争领导地位。在2004年，韩国占全世界薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）市场的46%，台湾占44%。台湾期望到2006年在TFT-LCD的生产上超过韩国。

　　韩国曾预计在2005年占全世界等离子体显示器（PDP）市场分额的64%，而日本预计占PDP市场的35%。PDP更适合于40英寸以上的电视使用。

　　平板显示器工业需要成行上万人穿着工作服在大空间式洁净室中工作，因此它是服装、手套、擦布及其它消耗品的大市场。

 

表1：世界平板显示器耗材的采购量

 

表1显示了世界上国家和地区线年的平板显示器洁净室购买的统计数字，以2004为底数。将来年份的百分比数字是以2004年的数字为基础计算的。例如，日本在2004年购买平板显器洁净室耗材品占34%。到2008年，日本购买的耗品相对2004年将占65%。